作者：于治成,郑方燕,冯济琴,蒲红吉,凌旭 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2013年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2013110150 DOC编号：DOCCGJS2013110159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对大量程纳米级精度测量难的问题，结合时栅传感器的基本原理，提出一种基于交变电场耦合的纳米时栅传感器。利用Nutt内插法对影响时栅精度的关键因素—时间量进行精密测量，降低了系统对插补脉冲频率的要求，提高了测量分辨率。采用SOPC技术设计纳米时栅信号处理系统，保证了系统高性能实时测量。实验结果表明，该系统能稳定正常工作，在行程200 mm测量范围内，纳米时栅误差峰峰值为590 nm。

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