作者：陈浩,邾继贵,薛彬 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2013年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ2013080320 DOC编号：DOCJJZZ2013080329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 激光位移传感器的测量是基于目标表面的散射效应，表面的粗糙度特性直接影响散射测量光斑的光强。为研究粗糙表面对成像光斑光强的影响，通过构建粗糙表面的散射几何模型，利用基尔霍夫标量散射的解析理论，结合遮蔽函数统计模型，获得被测表面的粗糙特性与成像光斑光强的函数关系。根据传感器中位置敏感探测器(PSD)的检测原理，感光面上成像光斑光强大小将直接影响传感器的测量精度。实验分析了基于PSD的位移传感器对标准粗糙度样块的测量数据，结果表明不同的表面粗糙度将产生不同的测量误差，表面粗糙度Rq值越大散射光斑光强越大，但伴随遮蔽系数的显著增强，光斑光强将逐渐被削弱，而测量误差大小与光强的变化趋势相同，其中对Rq=0.8mm左右的粗糙表面的测量误差最小。

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