作者：史国凯,钟方平,张德志,秦学军 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2013年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2013060440 DOC编号：DOCBDTG2013060449 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了提高自制位置敏感探测器(PSD)激光三角位移传感器的精度，提出一种简单、可行的数据修正方法，对传感器所采用的测量原理、敏感器件及自制工艺等进行了研究。首先，对自制的位移传感器的静态精度进行实验标定，分析其位移误差曲线。通过将位移测量误差曲线与敏感器件自身检出误差曲线进行比对，结合自制传感器的组装工艺，分析其误差来源。然后，通过调整激光三角测量原理中位移传递公式的具体参数，达到优化自制位移传感器的静态精度的目的。最后，用反复多次地，不同测量范围、测量步长下的位移数据曲线优化效果，证明这种修正方法的普适性。实验结果证明：经过该方法修正后，自制的PSD位移传感器的测量数据的误差降低约80%，其静态位移精度基本达到1%。这种修正方法能够简单、有效地提高PSD激光三角位移传感器的测量精度。

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