作者：谢晓,王文,何世堂 单位：中国科学院声学研究所东海研究站;同济大学声学研究所;上海市声学学会;上海船舶电子设备研究所 出版：《声学技术》2013年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSXJS2013S10850 DOC编号：DOCSXJS2013S10859 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 0引言湿度测量在工农业生产、食品卫生、气象、环保、国防等领域具有重要应用。随着应用范围的逐渐扩大，集成化、智能化、网络化的湿度传感器日益成为近年来的研究热点。基于声表面波(SAW)模式的湿度传感器以其灵敏度高、响应快、体积小、成本低、易集成等特点受到了广泛的关注[1]。

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