作者：李海宁,丁杰雄,姜忠,付陆元 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2013年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2013060010 DOC编号：DOCYDSG2013060019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了对两曲面狭缝间的作用力进行监测，设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线应力传感器。首先，讨论了狭缝间作用力测量的传感技术方案，分析了弹性介质中力敏结构模型，进而确定了SAW谐振器的尺寸；其次，结合微机电系统(MEMS)加工工艺研究了该器件的制作工艺方案，包括SAW谐振器、支撑基底、传输线的制作。通过对SAW传感器设计与制作过程的探究，可为狭缝空间等极端环境中物理量的测量提供新的思路。

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