作者：赵立波,徐龙起,热合曼·艾比布力,张桂铭,蒋庄德,赵玉龙,王久洪,王晓坡,刘志刚 单位：中国工程热物理学会;中国科学院工程热物理研究所 出版：《工程热物理学报》2013年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGCRB2013120070 DOC编号：DOCGCRB2013120079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文采用基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器分别在26~34℃和30~50℃范围内，对甲苯和0.65 cs二甲基硅油进行了密度实验研究.选用甲苯作为标准液对该传感器的工作参数进行标定，并测量了甲苯在26℃、30℃和34℃处的密度值.将甲苯的密度实验值与参考值进行比较，得到最大绝对偏差和平均绝对偏差分别为0.70%和0.43%.使用已标定的密度传感器对0.65 cs二甲基硅油进行密度测量，并将硅油的密度实验值与参考值进行比较，得到最大绝对偏差和平均绝对偏差分别为4.21%和4.16%，低于5%，满足工程上的需要。

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