作者：郝晓剑,张斌珍 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013100220 DOC编号：DOCCGQJ2013100229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了共振隧穿效应，并在此基础上利用共振隧穿二极管(RTD)设计了共振隧穿压阻式的微加速度传感器实验检测方案。对所设计的微加速度传感器进行加速度的电压输出线性度、频率响应以及不同偏压下加速度计的灵敏度等进行全面系统测试，并且进行了高低温试验、冲击响应对比分析等相关试验。研究结果为共振隧穿加速度传感器提供了全面、准确的数据，为压阻式RTD传感器的研究提供了可靠依据。

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