作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2013年第09期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2013090090 DOC编号：DOCCGSJ2013090099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 日前，由江苏物联网研究发展中心、无锡微纳产业发展有限公司和华润微电子等三方共建的国内首个完备MEMS(微机电系统)智能传感器公共技术平台进入实际运行阶段。同时，依托该平台技术辐射，多家国内顶尖研发机构和企业已入驻，成为当地物联网产业的重要引擎。MEMS被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，具有体积小、功耗低、性能

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