《基于MEMS技术的对称式微波功率传感器的设计研究》PDF+DOC

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2. 《一种新型MEMS微波功率传感器的设计与模拟》PDF+DOC 提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构，与传统传感器相比，新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下，模拟了热电堆的温度分布，三明治结构热电堆的温度高于传统结构，因此具有更高的灵敏度。同时模拟了两种结构的阻抗匹配特性，其差异不大，在1~6GHz的频率范围内，......
3. 《热电式MEMS微波功率传感器的热学特性研究》PDF+DOC 热电转换效率直接影响热电式MEMS微波功率传感器的性能。着重对衬底掏空结构的热电式微波功率传感器进行了研究。将热电式微波功率传感器分成三个区域，建立了傅里叶模型，研究背面刻蚀的长度与厚度对热电堆热端温度的影响，发现热电堆两端温差与背面刻蚀的长度、厚度成正比。利用有限元仿真软件ANSYS，对不同刻蚀长......
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5. 《MEMS微波功率传感器拉格朗日模型的研究》PDF+DOC 为了改善热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的综合性能，首先对负载电阻至热电堆的距离、热偶长度、热偶数目建立灵敏度、噪声系数和时间常数的理论解析模型。根据理论解析模型，分析得到了时间常数、噪声系数对于灵敏度的制约作用。然后基于拉格朗日乘数法建立了在特定噪声系数、时间常数限制下的灵敏度优化解析模......
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9. 《一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计》PDF+DOC 提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比，新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上，对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型，进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理，以给定的时间常数......
10. 《MEMS传感器在汽车中的应用研究及进展》PDF+DOC 随着汽车智能化的快速发展和MEMS技术的深入研究，MEMS传感器在汽车电子产业中具有广阔的应用前景。本文针对MEMS汽车传感器的研究应用现状、主要MEMS汽车传感器的原理及应用等进行了简要阐述，最后对MEMS汽车传感器的发展趋势进行探讨及展望。...