作者：张蔚云,闫树斌,甄国涌,薛晨阳,郑永秋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2014年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2014010060 DOC编号：DOCCGJS2014010069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微腔角速度传感系统是新一代光学传感器的代表。提出一种面向角速度传感系统的微球腔，其中微球腔作为核心部件直径约为1 mm，根据测量及相关公式计算，半高全宽为10.5 MHz，自由谱宽65.89 GHz，Q值1.84&#215；107，精细度为6.26&#215；103。微球腔特有的高Q值、高分辨率、制备简单等性能，使其具有长远的发展前景。详细介绍了整个系统的工作原理，并通过使用不同波形、不同频率的扫频及调制信号进行实验，对比透射曲线和鉴频曲线的形态，获得在球腔系统中的最适参数。经验证，使用频率为10 Hz的正弦波进行扫频，1 MHz的三角波作为进行调制，能够使系统处于更优的状态。

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