作者：卞晓月,张健,王剑平,吉淳,吴一奇 单位：华东师范大学 出版：《华东师范大学学报(自然科学版)》2014年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHDSZ2014040090 DOC编号：DOCHDSZ2014040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计制作了一种基于MEMS技术，可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容.电容采用三明治结构，聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料，金作为上、下电极.测试结果表明，在15%RH~95%RH的全量程范围内，湿敏电容的合格率≥80%，灵敏度约为0.29pF/%RH，线性误差&lt；1.5%RH，湿滞较小，响应时间小于4 s，温度系数好，具有良好的长期稳定性.研究表明，制作的湿敏电容综合指标良好，适合批量生产，可以满足高空气象探测要求。

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