作者：蒋国珠,张辉,刘朝群,张淑仪,范理 单位：中国科学院声学研究所东海研究站;同济大学声学研究所;上海市声学学会;上海船舶电子设备研究所 出版：《声学技术》2013年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSXJS2013S11360 DOC编号：DOCSXJS2013S11369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 0引言近年来，基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注，并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是，现代的工艺能让FBAR设计得很薄(&lt；1μm)，更薄的FBAR能得到更高的共振频率(&gt；1 GHz)从而得到更高的传感灵敏度[2-3]。相关研究表明，基于氮化铝和氧化锌压电薄膜的

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