《一种汽车碰撞试验用低阻尼宽频响加速度传感器》PDF+DOC
作者:肖咸盛,杨拥军,卞玉民,张旭辉
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2017年第05期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2017050070
DOC编号:DOCBDTQ2017050079
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基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器。为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过载的新颖限位结构,保证了低阻尼传感器高过载、高可靠性。传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)片加工,并利用硅硅键合与共晶键合工艺相结合实现了圆片级气密封装,具有易于批量生产的优势,可以广泛应用于汽车碰撞试验。封装后的传感器采用振动法和冲击法进行性能测试,测试结果表明,传感器的量程范围大于2 000g,阻尼比为0.023,谐振频率约27.6 kHz,带内平坦度在±;4%范围内带宽大于5 kHz,传感器在多次承受20 000g的冲击下没有失效。
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