作者:肖咸盛,杨拥军,卞玉民,张旭辉 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2017年第05期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2017050070 DOC编号:DOCBDTQ2017050079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《低阻尼MEMS加速度传感器频率特性快捷测试法》PDF+DOC2015年第02期 张旭辉,徐爱东,卞玉民 《一种MEMS高温压力传感器》PDF+DOC2016年第06期 王伟忠,何洪涛,卞玉民,杨拥军 《传感器固有频率和阻尼对冲击加速度检测的影响》PDF+DOC2003年第02期 王钻开,陆德仁 《一种SOI高温压力传感器敏感芯片》PDF+DOC2014年第04期 王伟,梁庭,李赛男,洪应平,葛冰儿,郑庭丽,贾平岗,熊继军 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC2015年第04期 武金亮,周琦,高晓宇,胡梦晴,秦东林 《MEMS传感器的发展现状及应用综述》PDF+DOC2016年第03期 郝旭欢,常博,郝旭丽 《微机械力敏传感器及其发展动向》PDF+DOC1996年第10期 鲍敏杭,沈绍群 《固态压阻传感器及其在海洋仪器的应用》PDF+DOC1983年第04期 宋文洋 《MEMS将成为汽车传感器的主流技术》PDF+DOC 章从福 《MEMS传感器及其在航空领域的应用》PDF+DOC2014年第04期 樊建勋
  • 基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器。为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过载的新颖限位结构,保证了低阻尼传感器高过载、高可靠性。传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)片加工,并利用硅硅键合与共晶键合工艺相结合实现了圆片级气密封装,具有易于批量生产的优势,可以广泛应用于汽车碰撞试验。封装后的传感器采用振动法和冲击法进行性能测试,测试结果表明,传感器的量程范围大于2 000g,阻尼比为0.023,谐振频率约27.6 kHz,带内平坦度在±4%范围内带宽大于5 kHz,传感器在多次承受20 000g的冲击下没有失效。

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