作者：成贤锴,查卿,钟君,顾国刚,陈琦 单位：上海交通大学 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYSY2013110120 DOC编号：DOCSYSY2013110129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了满足准确测量并实时显示狭缝宽度及保证狭缝开合精度的需求，研制了狭缝调整装置，通过位移传感器测量缝宽和闭环反馈自动调节缝宽，从而提高装置的精度和稳定性。狭缝调整装置由步进电机带动偏心轮系统，偏心轮系统和柔性铰链将电机的旋转运动转换成为刀口的开合，刀口开合的大小(即缝宽)由差动变压器式(LVDT)位移传感器来测量，得到的模拟信号转换成数字信号反馈给工控机，经过伺服控制算法处理后发送运动指令给运动控制器，驱动电机形成闭环控制。LVDT位移传感器无摩擦、寿命长、分辨率高、坚固耐用，既可进行开环测量又可进行闭环控制，能够精确地测量狭缝的宽度，精度为&#177；1μm。实验结果证明，柔性铰链机构替换传统刚性组合机构消除了间隙、摩擦和磨损，提高了精度和寿命；而闭环控制的狭缝调整机构解决了大多数手动狭缝精度低和稳定性差的问题。

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