《瞬态薄膜热电传感器的新技术研究》PDF+DOC
作者:邬云晨明,杨遂军,于方舟,叶树亮
单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会
出版:《电子元件与材料》2013年第12期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZAL2013120260
DOC编号:DOCDZAL2013120269
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薄膜热电传感器由于具有体积小、热容量小及响应速度快等优点成为国内外学者研究的重点。现有的薄膜制备工艺不成熟,一致性差,效率低,制备成本高,所以现在多针对特殊领域的研究,难以产品化和推广。提出了一种基于电子印刷工艺制备薄膜热电传感器的新方法,该方法克服了以往工艺的弊端,为热电传感器的微型化、高速化、集成化发展提供了新的研究方向。
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