作者：张云琦,张景波,邢春香,孙晓冰,胡大强,殷景志,陈信琦 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第11期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017110010 DOC编号：DOCYBJS2017110019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文中对制作MEMS磁传感器过程中涉及的主要设计参数、器件的制备工艺进行了介绍，综述了基于洛伦兹力的各种结构MEMS磁传感器的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性，并对其未来发展进行了展望。

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