《多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展》PDF+DOC

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2. 《掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜应变系数及其线性度的影响》PDF+DOC 利用低压化学气相沉积(LPCVD)技术制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜，并对样品的压阻特性进行了测试.采用最小二乘法对实验数据进行拟合，得到了应变系数及其线性度与掺杂浓度的关系.实验结果表明：掺杂浓度从8.1&#215；1018cm-3变化至7.1&#215；1020cm-3，多晶......
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