作者:邵靖,段力,王强,郑芳芳,谢开成,王云生,陶闻钟,高均超,胡铭楷,张丛春,汪红,丁桂甫 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2017年第09期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2017090090 DOC编号:DOCCGJS2017090099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微型电容式压力传感器中的温度效应》PDF+DOC2006年第05期 黄哲琳,冯勇建 《MEMS高温接触式电容压力传感器》PDF+DOC2006年第07期 冯勇建 《MEMS高温压力传感器研究与进展》PDF+DOC2009年第11期 张冬至,胡国清,陈昌伟 《精密数字式温度计制作》PDF+DOC 方捷 《温度测量仪器及其误差补偿》PDF+DOC1985年第01期 E.Erb,黄正森,学超 《气象微系统中传感器的温度补偿》PDF+DOC2003年第03期 周再发,黄庆安,秦明,张中平 《光纤高温传感器的研究进展及应用》PDF+DOC2012年第03期 王雪萍,赵春柳,康娟,倪凯,金尚忠 《MEMS传感器在汽车中的应用及发展》PDF+DOC2008年第03期 刘成刚 《差阻式传感器的大坝安全监测系统设计》PDF+DOC2013年第01期 邵灿辉,何国云,倪维东 《铱金属管黑体腔高温传感器发射率研究》PDF+DOC2013年第03期 常蕾,赵俭,武建红
  • 航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传感器和标准的热电偶进行了一系列的高温测量试验和一系列细致的高温温度表征测量研究。该微制造工艺攻克了两项技术难关:曲表面的光刻技术和高温绝缘层的制作技术。涡轮叶片表面原位集成的微传感器不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40 g的振动和100 g的冲力。研究还表明,在高温测量环境下,高温测量精度和高温环境下的温度场(高温温度的空间分布与升温时间迟豫)密切相关。由于高温环境温度场的差异,可以产生高达10%的测量本征误差。

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