《基于LTCC技术的无源气压传感器研制》PDF+DOC
作者:刘红雨,李姗泽,王颖麟,李俊
单位:中国电子科技集团公司第五十八研究所
出版:《电子与封装》2017年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDYFZ2017050020
DOC编号:DOCDYFZ2017050029
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介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型,主要制作工艺流程和关键工艺难点。研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据,并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试。结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好,谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,在复杂环境内依然能够实现预期功能。
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