作者：孙宝云,马炳和,邓进军,姜澄宇 单位：中国空气动力学会 出版：《实验流体力学》2017年第02期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLTLC2017020040 DOC编号：DOCLTLC2017020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状，重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度，对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析。

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