作者:马晓鑫,苏淑靖,耿子惠,吴永盛 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2017年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2017060030 DOC编号:DOCYDSG2017060039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 薄膜体声波滤波器(FBAR)传感器的性能受结构和材料特性的影响很大。该文利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件,建立了FBAR传感器的二维、三维有限元结构模型。用氮化铝和氧化锌材料作为压电薄膜对建立的模型做了固体力学和静电学仿真分析,得到了FBAR传感器的谐振频率、导纳特性曲线和谐振频率处的位移分布情况。通过分析发现氮化铝压电薄膜阻抗特性曲线更平滑,而氧化锌压电薄膜存在明显的寄生谐振峰的问题。针对氧化锌压电薄膜存在的寄生谐振峰进行了优化,仿真分析了电极边长尺寸和电极厚度对寄生谐振的影响,实现了对寄生谐振峰的有效抑制。

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