作者：丁光辉,马炳和,邓进军,苑伟政 单位：中国空气动力学会 出版：《实验流体力学》2017年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLTLC2017030060 DOC编号：DOCLTLC2017030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为提高设计水平和效率，建立了浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型。该解析模型明晰了微传感器探头结构参数与传感器性能指标之间的关系。针对微传感器量程、固有频率、非线性度、灵敏度和分辨率等指标需求，能够更有针对性地快速得到优化传感器结构方案。结合设计案例，给出了微传感器探头结构的设计方法与流程，设计研制的传感器测试实验结果与解析模型的设计结果相符合。

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