作者：谌福华,高智浩,王明伟 单位：中国电子学会 出版：《电子技术与软件工程》2017年第07期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZRU2017070680 DOC编号：DOCDZRU2017070689 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 高g值加速度传感器可用于钻地武器，通常以每秒几千英尺的速度钻入地面、混凝土、岩石或其他的坚硬物质，所用的加速度传感器既要抗击如此苛刻的工作环境，又有快速响应冲击与钻入的整个过程。因此，钻到武器用加速度传感器要有很宽的测量范围、耐受高冲击且频率响应高。高量程MEMS加速度传感器是测量高冲击过程的核心器件。本文对一种梁膜结构压阻式MEMS加速度传感器的封装进行了系统研究，讨论了使用不同材料管壳封装后，对器件性能的影响。

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