作者：杨刚,崔峰,樊冬,刘武,张卫平,吴校生 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2017年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2017030010 DOC编号：DOCBDTG2017030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对流速传感器大多存在测量量程小、柔性小而无法适应较大量程和复杂曲面的测量问题，提出了一种宽量程柔性MEMS流速传感器，结合热损失和热温差的工作原理实现对流速的测量。选取聚酰亚胺(PI)作为柔性衬底材料和铂(Pt)薄膜为热敏材料，采用金属牺牲层MEMS工艺制造了带空腔的柔性流速传感器芯片，尺寸为9mm&#215；7mm&#215；30μm。设计了采用双惠斯通电桥的恒温差测控电路。测量结果表明：制造的柔性MEMS流速传感器的TCR为0.2418%/℃，实验实现了0~36m/s的输入风速测量，在低速、高速段内的灵敏度分别为2和0.295mV/(m/s)。同时，测量电路还展现出良好的温度补偿效应。所提出的柔性MEMS流速传感器具有宽量程、测试精度高、灵敏度高和易于实施温度补偿的优点，有望用于航空航天、国防等领域。

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