《微型正交激励磁通门结构设计》PDF+DOC
作者:郭博,刘诗斌,杨尚林
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2014年第07期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2014070110
DOC编号:DOCCGJS2014070119
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利用三维电磁场仿真软件对线-芯结构微型正交激励磁通门进行了仿真分析。研究了不同频率下激励线宽度、铁芯宽度、激励线厚度、铁芯厚度等磁通门结构参数对铁芯饱和情况的影响。以减小激励电流、降低磁通门功耗为目标,讨论了采用线-芯结构的微型正交激励磁通门所应选择的结构尺寸。采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工艺制备了这种结构尺寸的微型磁通门传感器并对其进行了测试,采用尖脉冲激励时,其可以以1.7 mW的超低功耗得到91.6 V/T的输出灵敏度。
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