作者：陈佩,赵玉龙,田边 单位：中国空气动力学会 出版：《实验流体力学》2017年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLTLC2017020050 DOC编号：DOCLTLC2017020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用，向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构，分析了其基本工作原理，采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工，然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms~(-1))~2，测试基本精度为0.5885%FS；水流测试灵敏度为41.5241mV/(ms~(-1))~2，测试基本精度为0.9323%FS。结果表明，所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度，从而能完成流量信号的检测。

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