作者：郭俊莉 单位：中国科技新闻学会 出版：《中国科技信息》2014年第16期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXXJK2014160780 DOC编号：DOCXXJK2014160789 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 近年来，微电子机械系统这种新兴的技术迅速发展，已经逐渐影响到人们生活的各个领域。该技术以硅为加工材料，其制品具有集成化、微型化等特点。它的这些特点受到各个领域的青睐，目前许多工业领域期望通过微电子机械系统技术改进技术条件，解决工厂存在的问题。因此，本文将从微电子机械系统的概念，加工过程所采用的技术，及具体应用等方面对其进行探讨。

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