作者：简泽明,张国军,刘梦然,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2014年第09期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2014090060 DOC编号：DOCBDTQ2014090069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 压阻式的MEMS仿生矢量水听器的固有频率和灵敏度之间是相互制约的，即随微结构的各个尺寸(悬臂梁的长、宽、高及中心连接体的边长)的变化，二者呈现相反的趋势。通过理论分析和推导，得出每个尺寸对水听器固有频率和灵敏度的影响程度不一致，可以合理地设计微结构的各个尺寸(最优解)，使矢量水听器在具有相同固有频率条件下得到最大灵敏度。根据常用的微结构，通过Matlab软件计算出了微结构的一组最优解。通过ANSYS软件仿真验证，与常用的微结构相比，该微结构固有频率下降了7%，而灵敏度提高了1倍。最后，测试结果表明：两组尺寸的水听器频带范围为20~1 000 Hz，并且尺寸优化后的水听器比优化前的灵敏度平均高5 dB。

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