作者：刘源,陈丽红,张国军,赵鹏,申辉,张文栋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2014年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2014060100 DOC编号：DOCCGJS2014060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点，但是由于流体的影响，水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同，为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响。首先，理论上分析了流体对共振频率的影响。然后，采用ANSYS对空气中和液体中MEMS矢量水听器的共振频率进行仿真。最后分别采用振动台和矢量水听器校准系统进行了测试。结果表明MEMS矢量水听器在水中的共振频率较空气中下降了约31.2%。

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