作者：姚东媛,谢胜秋,王俊巍,吴佐飞 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2017年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2017060080 DOC编号：DOCCGQJ2017060089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《低温压力传感器的研制》PDF+DOC2017年第08期 姚东媛,谢胜秋,王俊巍 《低温测量中压力传感器的改进与标定》PDF+DOC1999年第05期 孙淑凤,陈流芳,张声良,吴裕远,王宜义 《压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析》PDF+DOC1995年第04期 吴坚民,唐祯安,牛德芳 《硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析》PDF+DOC1989年第03期 李乃平,刘三清,应建华 《硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计》PDF+DOC2004年第09期 姚东媛,文彬,谢胜秋,邹向光 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC2003年第01期 沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品 《压阻式压力传感器性能的研究》PDF+DOC2012年第02期 阎文静,张鉴,高香梅 《ANSYS在高精度压力传感器感压膜片结构分析中的应用》PDF+DOC2011年第06期 黄林静,朱目成 《OEM压力传感器零点输出失效原因分析》PDF+DOC2009年第S1期 徐淑霞,王彤,胡竞,马文龙,常伟 《硅压阻式压力传感器的现场可编程自动补偿技术》PDF+DOC2008年第11期 袁智荣,郭和平

    • 介绍了硅—蓝宝石压力传感器的钛合金—蓝宝石复合弹性膜片在宽温区工作时温度变化材料不匹配引起的结构热应力，对弹性膜片的受热情况进行了分析，对不同结构形式传感器热稳定性影响程度进行了对比，利用P型掺杂硅温度特性减少结构热应力影响、降低传感器的热零点漂移。通过膜片结构选择和设计、材料选择、工艺优化和控制等可以使硅—蓝宝石压力传感器在-55~350℃宽温度范围内工作时热漂移不大于0.015%FS/℃，提高了宽温区工作时传感器的热稳定性。

    📙 相关资料

    1. 《低温压力传感器的研制》PDF+DOC 介绍了低温绝压传感器的研制过程，采用钛合金-硅-蓝宝石、陶瓷密封组件、低温电缆、插针连接等，通过材料选择和结构设计及优化，提高传感器整体耐低温的能力和绝压腔密封可靠性。研制出量程为(0~500)kPa、精度不大于0.2%FS、热漂移不大于0.03%FS/℃、工作温度范围为(-100~200)℃的低温......
    2. 《低温测量中压力传感器的改进与标定》PDF+DOC 为适应低温测试，文章介绍了对普通压阻压力传感器的结构改进；并对改进后的传感器的性能进行了低温标定，得到其零点输出与温度的关系以及不同温度下压力传感器的输出特性曲线。图4。...
    3. 《压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析》PDF+DOC 为提高Ｃ型压力传感器性能，利用有限元方法，对Ｃ型结构传感器加工过程中出现的边缘Ｒ角、膜厚不均匀、双面对准偏差进行计算与分析．其结果表明控制工艺偏差是研制高性能传感器的基础．...
    4. 《硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析》PDF+DOC 本文从理论上分析了硅剪切压阻系数的择优取向，以及在矩形、方形和圆形弹性膜片上欲获得较大剪应力，电阻条的布局原则。利用本文提供的方法，对某些膜片上的四端应变电阻所进行的布局分析与Kanda用有限差分法计算出来的布局结果基本一致。文中还提出了膜片上一些新的布局，供设计者选用。...
    5. 《硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计》PDF+DOC 介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用，通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡，达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。...
    6. 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC 分析了硅压力传感器的线性与非线性 ，讨论了非线性产生的原因 ，并提出了硅压力传感器的优化设计方法...
    7. 《压阻式压力传感器性能的研究》PDF+DOC 微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的器件之一，它结构简单、用途广泛。本文介绍了基于压阻效应及惠斯顿电桥的压阻式压力传感器。介绍了膜的面积、厚度、电阻形状和位置等参数对压阻式压力传感器的灵敏度和线性度的影响。...
    8. 《ANSYS在高精度压力传感器感压膜片结构分析中的应用》PDF+DOC ANSYS作为最通用最有效的有限元软件之一，在计算数学、计算力学和计算工程科学领域都得到了的广泛的应用。本文正是利用ANSYS软件强大的有限元分析功能，对压力传感器感压膜片在一定压力下变形情况进行分析，实现感压膜片的应力分析。...
    9. 《OEM压力传感器零点输出失效原因分析》PDF+DOC OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的。因此不合格传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中，归纳出不合格的主要原因是零点输出发生变化。文中尝试从半导体工艺原理和制造工艺方面对不合格品的失效原因进行分析，并提出相应的改进方法。...
    10. 《硅压阻式压力传感器的现场可编程自动补偿技术》PDF+DOC 为了提高硅压阻式压力传感器温度性能指标，并实现快速补偿，通过以ADμC816微处理器为核心设计了智能压力传感器，提出了传感器在宽温区下测量误差的自动补偿办法，通过对IC sensor系列压力传感器的应用，使其温度性能提高了1~2个数量级。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。