作者：赵娟 单位：上海贝岭股份有限公司 出版：《集成电路应用》2014年第06期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDL2014060060 DOC编号：DOCJCDL2014060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统MEMS是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。2014松山湖中国IC创新高峰论坛推广了多款新型MEMS产品，从各角度展示了中国创造在应用和性能等方面的突破。

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