作者：杨亮,李艳秋,马旭,盛乃援 单位：中国航天科工集团公司第三研究院第八三五八研究所 出版：《红外与激光工程》2014年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWYJ2014060360 DOC编号：DOCHWYJ2014060369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种光学两细分的方法》PDF+DOC1995年第Z1期 朱赛云,侯尔志 《金属膜衬底上亚波长介质光栅结构的特性及传感应用》PDF+DOC2011年第09期 马伟涛,周骏,黄水平,苑红伟 《基于无衍射光的空间入射角测量及其自动标定》PDF+DOC2016年第08期 马国鹭,刘丽贤,赵斌 《光栅横向位移遥测传感器的焦深分析》PDF+DOC1999年第02期 杨鑫,蒋诚志,张国雄 《Chirp光纤光栅及其主要应用》PDF+DOC1998年第01期 蒋英,庞翠珠,陈根祥,简水生 《声光传感器》PDF+DOC1995年第02期 于连生 《高深宽比金属光栅制备及中红外波段传感特性》PDF+DOC2013年第02期 郑改革,陈云云,徐林华,赖敏 《基于光盘光栅的表面等离子体共振传感器》PDF+DOC2012年第03期 刘畅,邹正峰,陈淑芬,付雷,孟彦彬,张兵心,陈博,林为秀 《新型微米光栅加速度计光学结构研究》PDF+DOC2010年第06期 张群雁,周震,冯丽爽,姚保寅 《变栅距闪耀光栅相对衍射效率的计算方法》PDF+DOC2014年第01期 王东辉,刘林,李秉实,包艳,郑普超,张兵,张超

    • 基于严格耦合波分析理论，将嵌入式光栅多层结构平面衍射的理论模型扩展至锥形衍射的情况，可以模拟具有任意波长、偏振态、方位角和入射角的平面波入射该多层结构后形成的衍射。在此基础上，研究了微机械声光传感器锥形衍射中+1级光衍射效率的收敛性。仿真表明：TM(Transverse Magnetic)偏振光入射且光栅周期为4μm时，当谐波数M(2n+1)分别为67、69、71时，+1级光衍射效率分别为28.86%、28.84%、28.86%，收敛性较好。另外，优化了微机械声光传感器的位移灵敏度，当入射角为22&#176；、方位角为10&#176；、光栅周期为1μm时，与周期为4μm的+1级衍射光相比，TE、TM偏振光入射时0、+1级衍射光的位移灵敏度均提高一倍，可以准确地监测该传感器中声压或驱动电压引起的金属膜的位移。

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