作者：徐加彦,陈兴林,范文超,张广莹 单位：天津市工业自动化仪表研究所;天津市自动化学会 出版：《自动化与仪表》2014年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDHY2014070170 DOC编号：DOCZDHY2014070179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 考虑到光刻机E-PIN升降机构吸附硅片做上下往复运动，准确定位、快速性、稳定性的要求，提出了一种基于DSP和FPGA的升降机构控制系统设计和实现方法。以TI公司的DSP2812为控制器，Altera公司的EP3C25E144C3N作为可编程逻辑器件，设计了信号采集模块，规划了控制系统的整体框架，定义了通信传输协议。详细介绍了控制系统的运动控制模块、传感器模块、驱动电路、音圈电机执行机构等方面的设计。通过实验证明，该控制系统运行可靠，准确性、稳定性达到要求。

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