作者：王玲 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2014年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2014020150 DOC编号：DOCBDTQ2014020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • SPTS科技DRIE模块订单超过1 000件SPTS科技宣布其深反应离子蚀刻(DRIE)模块的订单数量达到了新的里程碑，销量达1 000件。该消息在新加坡MEMS论坛上发布，以彰显该国的MEMS市场飞速增长。DRIE是Bosch公司创始人Robert Bosch于1994年利用其专利工艺开发的，而SPTS科技则是最早获得Bosch工艺许可的合作商，其于1995年推出了公司首款商业系统。自那时起，SPTS科技的DRIE工艺不断得到

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