作者:刘妤,陈松,顾雯雯 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2014年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2014020020 DOC编号:DOCCGJS2014020029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。

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