《接触式电容微加速度传感器的设计与分析(英文)》PDF+DOC
作者:刘妤,陈松,顾雯雯
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2014年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2014020020
DOC编号:DOCCGJS2014020029
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设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。
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