作者：肖顺 单位：江西省化学化工学会;江西省化学工业研究所 出版：《江西化工》2014年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFPROV2014010640 DOC编号：DOCPROV2014010649 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2005年第01期 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《MEMS技术概述》PDF+DOC2006年第04期 王冬生,王春明,胡桂珍 《关于微机电系统研究》PDF+DOC2003年第02期 温诗铸 《微机电系统(MEMS)研究现状及展望》PDF+DOC2002年第07期 张贵钦 《中国微纳制造研究进展》PDF+DOC2008年第11期 王立鼎,褚金奎,刘冲,罗怡 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润

    • 概述了微机电系统的结构和特点，并介绍了MEMS传统加工工艺以及应用领域。

    📙 相关资料

    1. 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC 微机电系统是面向21世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现 状及应用前景进行了全面分析。在此基础上，论述了MEMS未来发展的趋势。...
    2. 《微机电系统技术进展》PDF+DOC 概述了微机电系统(MEMS)的发展史，综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术，微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统，介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用。...
    3. 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC 概述了微机电系统的结构和特点，介绍了微机电系统的研究和应用领域。...
    4. 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍，并探讨了微机电系统技术在引信中的应用...
    5. 《MEMS技术概述》PDF+DOC 这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域，重点介绍了MEMS加工技术及其分类，最后给出了该技术的展望。...
    6. 《关于微机电系统研究》PDF+DOC 微机电系统是面向 2 1世纪的新科技。由于目前尚处于开创时期 ，人们对它还缺乏统一的全面认识。试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析。在此基础上 ，提出和论述了未来发展中的几个关键问题...
    7. 《微机电系统(MEMS)研究现状及展望》PDF+DOC 主要综述了微机电系统 (MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状 ，分析了存在问题 ，指出了今后的研究重点 ，并对其未来发展作了展望 ，提出了相应的发展策略。...
    8. 《中国微纳制造研究进展》PDF+DOC 介绍了中国微纳制造领域的总体概况。从微构件力学性能、微纳摩擦磨损及粘附行为研究、典型微流体器件输运特性研究、拓扑优化技术在微纳结构设计中的应用研究、微传热学的研究和微测试方法和装置的研究具体介绍了微纳制造基础理论方面取得的进展。从设计方法、硅基微机电系统(Micro electro mechanic......
    9. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC 介绍了MEMS的基本概念、系统结构、技术特点，并结合MEMS的发展史和制造技术，对MEMS的应用领域作了阐述。...
    10. 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC 介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。