作者：孙彬,郎小虎,王宏智,王兵锋,樊兵,季峥 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2014年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2014050110 DOC编号：DOCDGZS2014050119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了应用于半导体全自动晶圆划切设备中的刀体破损检测方法，在理论分析与计算的基础上制定检测方案，通过大量数据分析与处理，设计出抗干扰性强的数字滤波器，降低了系统误报率，提高了设备稳定性，保证了划切质量。

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