作者：王有忠 单位：中国计量科学研究院 出版：《中国计量》2014年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJILA2014030410 DOC编号：DOCJILA2014030419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 一、微机电系统的发展现状微型机械电子系统(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微型系统(Micro Systems)，俗称微机电系统。它是在集成电路(IC)加工技术基础上发展起来的新兴研究领域，涵盖力学、电磁学、热力学、化学、光学、材料科学等多个学科，是21世纪最有发展前途的技术之一，被誉为“第二次硅技术革命”。对于MEMS的定义，还没有一个统一的确切描述，各个国家基于各自不同的发展背景和认识上的侧重点，提出了几种不同的定义。

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