作者：杨朔,邢维巍 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2014年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2014030030 DOC编号：DOCHKJC2014030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构，其一次敏感元件为矩形硅膜片，膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，根据膜片上不同位置设置的硅谐振梁的固有频率对于压力变化有不同的变化规律的特点，实现对被测压力的差动输出检测。针对这种结构，建立被测压力与谐振梁固有频率的数学模型。设计实际尺寸参数进行计算分析，得出谐振梁的分布位置和几何参数对其振动特性的影响规律，给出了由差动输出解算压力的公式，验证了所提出的结构的设计思想和优化参数的可行性。

    📙 相关资料

    1. 《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC 本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构：以２&#215；２ｍｍ２的方形硅膜片直接敏感被测压力，膜片的上表面架设有６００&#215；５０&#215；５μｍ３两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，谐振梁封装在真空腔内。利用谐振梁的固有频率与被测压力的关系进行测量。针对这种谐振......
    2. 《硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真》PDF+DOC 根据双端固支梁的谐振频率求解，以及方形膜片在压力下形变和应力的理论分析，设计了一个基于梁-膜结构硅谐振式压力传感器敏感结构的模型。对该模型进行ANSYS仿真，得到它在1个大气压下的总形变和应力分布，以及前六阶的振动模态。比较方形膜片和长方形膜片下敏感结构的仿真结果，得出相同面积下长方形膜片的灵敏度更......
    3. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统》PDF+DOC 讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ；硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ，作为热激励单元 ；在梁的根部设置一压敏电阻 ，作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ，分析了信号的相互转换 ，给出了传感器......
    4. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
    5. 《硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化》PDF+DOC 对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件，直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁，以硅梁作为二次敏感元件，间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合，提高振子的Ｑ值，采用有限元仿真分析的方法，优化敏感边界结构参数。...
    6. 《复合材料方形膜的压力频率特性》PDF+DOC 基于一种典型的微结构硅谐振压力传感器由多层不同材料构成的谐振子的实际结构特点，建立了被测压力与谐振子静挠度、谐振子固有频率的数学模型．计算和分析了谐振子的振动特性，给出了各复合材料层的几何参数、物理参数对其振动特性的影响规律．揭示了复合材料方形膜的压力频率特性，为设计该类谐振子提供了理论依据．...
    7. 《400MPa压阻式压力传感器》PDF+DOC 采用高强度合金膜片作为初始敏感元件来承受被测压力，再利用硅油将压力传递到压阻敏感元件上，经硅油传递后的压力要比被测压力小很多，从而可用低量程的压阻元件制成超高压力传感器。基于此原理，本文采用量程为２ＭＰａ的压阻元件，研制成了４００ＭＰａ量程的超高压力传感器。...
    8. 《光纤耦合谐振式压力传感器》PDF+DOC 研制了一种以谐振石英晶体为敏感元件的光纤耦合压机传感器。该传感器的电测探头采用低功耗电子集成电路，被测压力用频率信号调制并用光纤传输。这下仅使它适用于特殊环境下的信号位测，而且具有光纤传输的高抗干扰能力。本文介绍传感器的设计思想想、结构特点及工作原理，并给出压力测试结果。...
    9. 《压力仪表知识(三)》PDF+DOC 本文在概述了压力传感器的作用、类别及其比较之后对各种类型的压力传感器的工作原理，结构特征和主要技术性能等方面进行了介绍。...
    10. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ，简述了其工作机理 ；从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。