作者：董胜飞,石云波,周智君,李策,李祥 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2014年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2014070080 DOC编号：DOCCGJS2014070089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计，实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理，设计了具体的结构参数，利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器，3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响，可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。

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