《原子力显微镜悬臂梁力传感器的设计与优化》PDF+DOC

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3. 《基于约瑟夫逊效应的高g值高分辨率加速度计的设计与仿真》PDF+DOC 针对目前压阻式加速度计分辨率不高的特点，设计了一种基于约瑟夫逊效应与硅压阻效应相结合的检测高g值的微机械加速度计，其具备信噪比低和分辨率高等优点.该加速度计采用四悬臂梁质量块结构，在悬臂梁根部附近布置压敏电阻，可将加速度输入转化成硅晶格的应变，从而引起压阻器件的阻值变化，并使测量电路的惠斯通电桥两端......
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