作者：金妍,陈淼,金庆辉,赵建龙 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014010070 DOC编号：DOCCGQJ2014010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研制了一种基于Ta2O5敏感膜的场效应式pH传感器，此传感器对pH有较好的敏感性：pH为1~7的范围内呈现出-57.4 mV/pH的响应，漂移性约为3 mV，迟滞效应小于5 mV，且无明显酸误差。对此传感器的电化学阻抗谱进行深入研究，并采用不同的等效电路来拟合此Si/SiO2/Ta2O5/电解液体系的响应机理，得出最佳的等效电路模型为RC(CR)(C(RW))。对拟合参数进行分析，此Ta2O5敏感膜与不同pH的电解液接触时，敏感膜与电解液的界面作用最终会引起半导体硅中空间电荷的变化，进而引起整个传感器结构的电容变化。制作的pH传感器稳定性好，适合于生物冶金过程(pH为1~4)的长时间连续监测。

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