《一种新型高灵敏度光学微环湿度传感器》PDF+DOC
作者:郭士亮,胡春海,李欣,王文娟,李志全
单位:中国物理学会发光分会;中科院长春光机所
出版:《发光学报》2014年第08期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFGXB2014080290
DOC编号:DOCFGXB2014080299
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于U型波导耦合单微环结构的高灵敏度湿度传感器》PDF+DOC2015年第02期 李志全,王禄娜,李欣,张鑫
《湿度传感器的应用研究》PDF+DOC 王金宝,谷文,张珽
《聚酰亚胺MOSFET湿度传感器研究》PDF+DOC2017年第09期 廖荣,李蓓,张振杰,李宇威
《高稳定陶瓷湿度仪电路设计》PDF+DOC1999年第04期 王军,沈永斌,李日东
《交联季铵化聚乙烯基吡啶湿度传感器》PDF+DOC1996年第S4期 陈贻炽
《交联季铵化聚乙烯基吡啶湿度传感器》PDF+DOC1996年第04期 陈贻炽
《我国湿度检测技术发展的现状与前景》PDF+DOC1991年第05期 梁锡沛
《硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究》PDF+DOC2005年第06期 万灵,温殿忠,白续铎,唐祺,肖艳玲
《CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能》PDF+DOC2009年第12期 崔千红,杨子健,韦波,杨建红
《长周期光纤湿度传感器特性的研究》PDF+DOC2013年第03期 唐学敏,徐茜茜,王宁,金永兴
提出了以聚酰亚胺(PI)为感湿材料的三耦合点单微环新型湿度传感器。外界湿度变化使得聚酰亚胺SOI微环谐振特性发生变化,最终通过谐振波长的漂移量确定湿度值。讨论了不同部位感湿时系统的传感特性,并且选择了最佳湿敏元件。数值模拟结果表明:与传统的单微环传感器相比,新型传感器具有较高灵敏度和测量范围,Through端口的自由频谱范围可提高3倍。三耦合点单微环谐振器整体结构可作为最佳湿敏元件,该传感器在10%RH~80%RH相对湿度范围内,灵敏度可达到0.98 nm/%RH,该结构为制备高灵敏度可集成微型湿度传感器件提供了一定的理论依据。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。