作者：付光杰,赵子明 单位：西安微电机研究所 出版：《微电机》2014年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDJZ2014030160 DOC编号：DOCWDJZ2014030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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