作者：张渤 单位：哈尔滨煤矿机械研究所 出版：《煤炭技术》2014年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMTJS2014060640 DOC编号：DOCMTJS2014060649 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于布拉格光栅应变传感技术的微机电甲烷传感器结构。该结构由光波导和布拉格光栅应力传感器，及双端固定微型双金属梁、甲烷无焰燃烧催化剂薄膜层、温度补偿光栅等主要结构组成。通过数值模拟得出波长漂移量与甲烷浓度间的线性关系，与传统催化型甲烷传感器比较，该微结构可以通过MEMS加工工艺制造，具有体积小、功耗小、易校准、便于组网等优点。

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