作者：李辉,张持健 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014020210 DOC编号：DOCCGQJ2014020219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器。器件采用热隔离性能良好的衬底挖空结构，且热敏电阻器与热源距离可调，保证了系统的灵敏度和响应速度。同时热敏电阻器、加热电阻器与电桥电阻器集成在传感器片内，提高了系统的稳定性。实验表明：合适的电阻器间距可以获得较高的灵敏度，而在0~20 mL/min的量程范围内系统线性度较好，因此，在生化检测、医疗等领域具有良好的推广前景。

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