作者：刘丽丽,王连元,郭欣,刘震,刘丽 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2014年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2014090190 DOC编号：DOCDZAL2014090199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2015年第04期 刘丽丽,何越,刘震,王连元,刘丽,苏畅,薄小庆,张晓波 《基于ZnO的微气体传感器的设计与优化》PDF+DOC2017年第06期 官修龙,刘丽,刘震,何越,王连元 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC2014年第07期 迟霄,张晓波,刘丽,何越,王连元 《微气体传感器结构设计和优化》PDF+DOC2013年第01期 张晓波,陕皓,刘丽,王连元,李守春,王国光 《新型共平面微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2017年第09期 官修龙,刘丽,何越,王连元 《新型微气体传感器的ANSYS分析与优化》PDF+DOC2016年第02期 刘丽丽,李守春,王连元,何越,刘丽,王雪松,苏畅 《微热板的热测试和热分析》PDF+DOC2001年第02期 顾毓沁,张荣海,朱德忠,孙晓毅,阎桂珍,唐祯安,Philip C.H. Chan,Johnny K.O. Sin,I-Ming Shing 《一种新型微结构气体传感器电极设计分析》PDF+DOC2012年第12期 韩郁,刘丽,陕皓,王连元,李守春,李伟,田云霞,魏爱国 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC2015年第02期 刘航,李洋 《一种加热丝埋入式微热板的研制》PDF+DOC2013年第10期 丁如义,张欢,孙全涛,王海容,陈磊

    • 设计了一种微气体传感器微热板的电极结构，利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化，研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响，并对测量电极的结构进行了优化。结果表明：当微热板加热电极的宽度和间距分别为20μm和10μm且测量电极为无叉指结构时，微热板中心区域能获得高且均匀的温度分布，并且磁场强度最小且分布均匀，这种电极结构有助于消除磁场对测量信号的干扰，提高传感器的整体性能。

    📙 相关资料

    1. 《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC 基于铂的热敏热阻特性和Si O2的绝热绝缘特性，设计了一种以铂作为电极材料，Si O2作为隔热层和绝缘层材料的微气体传感器的硅基微热板结构。利用有限元分析工具对微热板的基底和电极分别进行了设计和优化，并分析了微热板的热场和磁场分布。当基底设计为前Si O2层、中间Si层、后Si O2层3层结构且厚度......
    2. 《基于ZnO的微气体传感器的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种新型Zn O微气体传感器的结构，利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析，并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化，结果得出：当传感器基底中前Si O_2层、中间Si层、后Si O_2层的厚度分别为10，140和150μm，加热电极......
    3. 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种新型气体传感器的微热板结构，利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层和绝缘层。通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布，并对测量电极的结构进行了优化。当微热板的基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150μm、100μm且测量电极不放叉指时，......
    4. 《微气体传感器结构设计和优化》PDF+DOC 设计了一种新型微气体传感器的电极结构，这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层，利用有限元软件分析优化，当SiO2，Si的厚度分别为50，250μm，加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150，15，60μm时，传感器获得的中心温度较高......
    5. 《新型共平面微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC 利用金属铂良好的热敏、热阻特性，以及Si O2良好的绝热、绝缘性能，设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温度分布，利用有限元软件ANSYS对该传感器的电极和基底进行仿真分析，并进一步优化该传感器的基底以及电极参数。仿真结果表明：传感器......
    6. 《新型微气体传感器的ANSYS分析与优化》PDF+DOC 设计了一种新型微气体传感器的结构，并利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的基底和电极进行了分析与优化。结果得出：传感器的基底设计为硅杯状基座结构，且在Si O_2绝缘层与硅基座之间另加了Si导热层和Si O_2保护层，加热电极宽度和间距分别为50μm和60μm，此时微传感器的中心工作区域可获得高且......
    7. 《微热板的热测试和热分析》PDF+DOC 随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能，为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文件......
    8. 《一种新型微结构气体传感器电极设计分析》PDF+DOC 利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层，在单晶硅衬底上，设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布。当加热器宽度为100μm，信号电极宽度35μm，间距为70μm，传感器获得......
    9. 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC 微热板是微结构气敏元件的重要组成部分，采用Si作为基底，通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层，在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真，通过仿真得到的结果和数据，对器件的整体结构和尺寸进行优化。...
    10. 《一种加热丝埋入式微热板的研制》PDF+DOC 在传统“三明治”夹层结构的基础上，微热板将加热丝埋入到基底绝缘层中，通过周围绝缘层介质对加热丝的约束作用，减小了Pt加热丝与基底以及覆盖层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响，从而提高微热板在高温工作时的稳定性。主要加工工艺流程为：利用热氧化方法和LPCVD在4 in硅片两侧制备SiO......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。