作者：曹新亮,黄宝瑞 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014090220 DOC编号：DOCCGQJ2014090229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质，采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度，以电荷转移电路为微电容测量电路，用0.35μm多晶硅栅进行设计，形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真结果表明：在测量激励方波激励下，片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的直流电压输出特性。

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