《MEMS传感器在汽车电子中的应用》PDF+DOC

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3. 《微机电系统(MEMS)封装技术及产品》PDF+DOC 南通富士通微电子股份有限公司的微机电系统(MEMS)封装技术及产品荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖。1产品及技术的简要介绍微机电系统(MEMS：Micro Electro-Mechanical Systems)是目前迅速发展起来的一项新兴技术。...
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