作者：成云平,武文革,杜晓军,李琦,李学瑞 单位：中国机械工程学会;北京机床研究所 出版：《制造技术与机床》2014年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZJYC2014060450 DOC编号：DOCZJYC2014060459 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC2000年第08期 杨保和,常明,杨晓萍,呈晓国 《在工业应用中日趋重要的微传感器》PDF+DOC1995年第01期 E.Obemeier,林杰 《方膜上横向压阻压力传感器的非线性研究》PDF+DOC1990年第04期 于连忠,鲍敏杭 《热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响》PDF+DOC2006年第09期 杜晓松,杨邦朝,滕林,宋远强,蒋亚东 《硅压阻式传感器的优化分析》PDF+DOC2011年第03期 杨峻松,谭晓兰,刘珍妮,张敏亮,王峰 《基于Cosmosexpress薄膜拉伸机构零件的有限元分析》PDF+DOC2010年第09期 陈立胜 《硅压阻式湿度传感器的研究》PDF+DOC2009年第01期 蔡晓艳,陶涛,秦明 《注射过程工艺参数实时控制技术基础的研究》PDF+DOC2006年第04期 芦亚萍,陈伟文 《薄膜压电性能的测量方法》PDF+DOC2014年第13期 陈晓杰 《一种具有时空高分辨率的整体式热流传感器》PDF+DOC2014年第25期 吴松,舒勇华,李进平,俞鸿儒

    • 设计了一种嵌入式薄膜微传感器，由多层薄膜材料构成，在应变与压阻原理和材料力学理论的基础上，采用简化的等效悬臂梁结构建立了数学分析模型，将有限元分析方法应用于传感器的结构分析中，并应用ANSYS12.0对薄膜微传感器结构的线性度以及应变与应力进行了模拟，同时分析了传感器结构的几何参数对输出电压的影响，从理论和有限元分析方面验证了薄膜微传感器的可行性，为薄膜微传感器的进一步制作和应用奠定了基础。

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